目录
第一章电子特气行业概述
第一节电子特气相关界定
一、电子特气的含义
二、电子特气的分类
三、电子特气的纯度
第二节电子特气工艺分类
一、化学气相沉积工艺
二、光刻工艺
三、刻蚀工艺
四、掺杂工艺
第三节电子特气工艺流程
一、气体纯化
二、气体合成
三、空气分离
四、气体充装
五、气体混配
六、气体检测
七、气瓶处理
第二章2020-2022年全球电子特气行业发展综况
第一节2020-2022年全球电子特气发展现状
一、市场发展规模
二、市场份额分布
三、企业竞争格局
四、企业营收情况
五、产业链条布局
六、应用领域分布
七、产品技术分析
第二节2020-2022年美国电子特气发展分析
一、市场相关政策
二、市场主体介绍
三、企业布局动态
四、市场发展困境
第三节2020-2022年日本电子特气发展分析
一、市场发展现状
二、市场需求分析
三、市场主体介绍
四、企业营收情况
五、企业布局动态
六、出口管制施行
第四节全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
一、设备制造+气体服务齐头并进
二、通过收购快速开拓国际市场
三、通过技术创新丰富产品结构
第三章2020-2022年中国电子特气行业发展环境
第一节经济环境
一、宏观经济概况
二、工业运行情况
三、固定资产投资
四、宏观经济展望
第二节政策环境
一、行业主管部门
二、行业相关政策
三、行业支持政策
四、行业标准汇总
五、细分品类标准
六、区域政策动态
第三节行业环境
一、工业气体基本概述
二、工业气体发展特点
三、工业气体市场规模
四、工业气体区域竞争
五、工业气体竞争梯队
六、工业气体企业份额
七、工业气体产品布局
八、工业气体发展趋势
第四章2020-2022年中国电子特气行业运行状况
第一节中国电子特气行业产业链分析
一、产业链条分析
二、上游供应情况
三、下游应用结构
四、产业链企业布局
第二节2020-2022年中国电子特气市场发展状况
一、行业发展历程
二、市场发展地位
三、市场发展态势
四、市场发展规模
五、市场供应模式
六、波特五力模型
第三节2020-2022年中国电子特气企业竞争情况
一、企业竞争优势
二、企业竞争格局
三、主要企业介绍
四、企业产品布局
五、企业营收情况
六、市场地位对比
第四节中国电子特气行业技术发展状况分析
一、电子特气行业技术发展需求
二、电子特气行业技术发展意义
三、典型电子特气企业研发成果
四、高纯含氟电子气体国产化成功
五、高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
第五节中国电子特气行业发展问题及建议
一、行业起步较晚
二、行业竞争加剧
三、国际贸易摩擦
四、技术存在短板
五、行业发展建议
第五章2020-2022年中国电子特气细分市场发展分析
第一节清洗、蚀刻工艺特气
一、三氟化氮（NF3）
二、四氟化碳（CF4）
三、六氟化硫（SF6）
四、六氟乙烷（C2F6）
五、八氟丙烷（C3F8）
六、八氟环丁烷（C4F8）
第二节氧化/沉积工艺特气
一、六氟化钨（WF6）
二、氧化亚氮（N2O）
三、氨气（NH3）
四、硅烷（SiH4）
五、锗烷（GeH4）
第三节氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
一、磷烷（PH3）
二、砷烷（AsH3）
三、乙硼烷（B2H6）
第四节其他电子特气
一、六氟丁二烯（C4F6）
二、羰基硫（COS）
三、三氟化硼（BF3）
四、硒化氢（SeH2）
第六章2020-2022年中国电子特气行业下游应用领域分析
第一节半导体行业
一、半导体行业发展综述
二、半导体材料国产化
三、电子特气制程介绍
四、电子特气应用情况
五、电子特气应用规模
六、电子特气应用需求
七、电子特气应用前景
第二节LED行业
一、LED行业发展综述
二、电子特气应用情况
三、电子特气应用前景
第三节LCD行业
一、LCD行业发展综述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用现状
四、电子特气具体应用
五、电子特气应用前景
第四节太阳能电池行业
一、太阳能电池发展概述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用情况
四、电子特气应用规模
第七章2020-2022年国外电子特气行业重点企业经营情况
第一节美国空气化工产品
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业技术创新
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第二节林德集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业技术创新
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第三节法国液空集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、工业网路组织
五、企业发展战略
六、2019年企业经营状况分析
七、2020年企业经营状况分析
八、2021年企业经营状况分析
第四节日本酸素公司
一、企业发展概况
二、企业功能扩展
三、企业基础技术
四、企业销售情况
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第五节日本昭和电工株式会社
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业项目动态
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第六节其他企业
一、太阳日酸
二、关东电化
三、艾迪科
第八章2019-2022年中国电子特气行业重点企业经营情况
第一节广东华特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业业务模式
六、企业业务布局
七、企业技术发展
八、企业项目布局
第二节苏州金宏气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业工艺介绍
四、企业经营现状
五、特气营收情况
六、企业产能规模
七、企业产品布局
八、企业技术发展
第三节江苏雅克科技股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、电子特气营收
五、企业产品布局
六、细分产品介绍
七、企业项目动态
第四节江苏南大光电材料股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、特气布局分析
六、企业产品布局
七、企业研发投入
第五节昊华化工科技集团股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业产能规模
六、企业产品布局
七、企业研发投入
第六节湖南凯美特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业竞争优势
四、企业经营现状
五、气体营收分布
六、产品销售情况
七、特气布局分析
八、企业产品布局
九、企业研发投入
十、企业项目动态
第七节湖北和远气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业经营现状
三、电子特气营收
四、电子特气供应
五、企业研发投入
六、企业项目动态
第八节其他企业
一、杭氧股份
二、巨化股份
三、正帆科技
四、派瑞特气
五、博纯材料
六、绿菱公司
七、硅烷科技
八、同辉气体
九、太和气体
第九章2020-2022年中国电子特气行业投资分析
第一节2020-2022年中国电子特气行业投融资状况
一、行业投资现状
二、企业融资动态
三、企业战略合作
四、项目投资布局
五、行业投资机遇
第二节中国电子特气行业投资进入壁垒
一、技术壁垒
二、客户壁垒
三、服务壁垒
四、资金壁垒
五、资质壁垒
第三节中国电子特气行业投资风险及策略
一、行业投资风险
二、行业投资策略
三、项目投资建议
第十章中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
第一节雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资优势
四、项目实施主体
五、项目建设周期
六、项目投资概算
七、项目经济效益
第二节南大光电三氟化氮生产装置项目
一、项目基本情况
二、项目投资内容
三、项目投资价值
四、项目建设周期
五、项目投资概算
六、产能消化空间
七、项目经济效益
八、项目备案进展
第三节正帆科技气体扩产项目
一、项目基本情况
二、项目投资可行性
三、项目建设主体
四、项目建设周期
五、项目投资概算
六、项目环保措施
第四节金宏气体集成电路用高纯气体项目
一、项目基本情况
二、项目投资背景
三、项目建设方案
四、主要设备配置
五、项目物料及能源供应
六、项目环境影响及设施
七、项目组织方式和实施进展
八、项目投资概算及财务评价
第十一章2022-2026年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
第一节中国电子特气行业未来发展趋势
一、行业发展机遇
二、行业发展趋势
三、国产替代趋势
第二节2022-2026年中国电子特气行业预测分析
一、2022-2026年中国电子特气行业影响因素分析
二、2022-2026年中国电子特气市场规模预测
图表目录
图表不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表三种分离方法比较
图表化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表光刻工艺中电子气体的使用流程
图表刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表刻蚀机中辉光放电原理
图表离子注入工艺流程
图表离子注入机之磁分析器结构简图
图表离子注入机设备结构简图
图表电子气体纯度要求
图表气体纯化工艺流程图
图表气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表空气分离工艺流程图资
图表气体充装工艺流程图
图表气体混配工艺流程图
图表气体检验工艺流程图
图表气瓶处理工艺流程图
图表全球电子气体市场规模
图表2020全球电子气体细分市场格局
图表2019年全球电子特气市场格局
图表全球电子特种气体知名企业
图表2019年全球各公司特气业务营收
图表海外电子气体产业链
图表2019年全球电子特气行业下游应用结构
图表海外电子特气厂商产品技术情况
图表日本主要电子特气需求量及增速
图表工业气体龙头的发展路径
图表林德集团的收购事件
图表空气化工的技术、产品和市场
图表2015-2019年国内生产总值及其增长速度
图表2015-2019年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表2015-2019年万元国内生产总值能耗降低率
图表2016-2020年国内生产总值及其增长速度
图表2016-2020年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表2021年GDP初步核算数据
图表2019年各月累计营业收入与利润总额同比增速
图表2019年规模以上工业企业主要财务指标（分行业）
图表2016-2020年全部工业增加值及增长速度
图表2020年主要工业产品产量及其增长速度
图表2020-2021年规模以上工业增加值同比增长速度
图表2021年规模以上工业生产主要数据
图表2019年中国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表2019年中国固定资产投资（不含农户）主要数据
图表2020年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表2020年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表2020-2021年我国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表2021年固定资产投资（不含农户）主要数据
图表电子特气行业主管部门
图表2009-2020年电子特气行业的相关国家政策
图表2017-2019年中国重点新材料目录-特种气体入选数量
图表《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》-电子特气入选目录明细
图表2005-2020年电子特种气体国际标准
图表2008-2021年电子特种气体国家标准
图表现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表现行有效其他含氟气体标准
图表工业气体的用途
图表中国工业气体行业的周期性和区域性
图表2014-2020年中国工业气体市场规模
图表中国工业气体行业企业按区域分布情况
图表2020年中国工业气体行业竞争梯队（按相关营收划分）
图表2020年国内工业气体行业主要企业市场占比
图表2020年中国气体行业知名品牌
图表电子特气产业链
图表电子气体行业上游原材料和设备情况
图表2020年中国电子特气应用市场结构
图表电子特气行业产业链企业图谱
图表电子特气行业发展历程
图表电子特气是气体行业的重要分支
图表2013-2020年中国电子特种气体市场规模及增速
图表电子气体行业供气经营业务模式特点
图表电子气体行业供应模式与要点
图表TGCM一站式服务模式
图表电子气体行业五力模型
图表林德集团在我国工厂分布较为分散
图表林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表2019年我国电子特气市场格局
图表国内主要电子气体公司产品
图表八大国内电子气体供应商对比
图表八大国内电子气体供应商对比（续）
图表2019年国内外主要电子气公司业绩表
图表2018-2021年全球NF3市场需求
图表2015-2021年国内NF3市场需求
图表三氟化氮主要公司产能
图表国内四氟化碳需求
图表四氟化碳主要公司产能
图表六氟化硫主要公司产能
图表六氟乙烷主要公司产能
图表八氟丙烷主要公司产能
图表八氟环丁烷主要公司产能
图表2014-2019年全球六氟化钨市场消费量
图表六氟化钨主要公司产能
图表氧化亚氮主要公司产能
图表高纯氨器主要公司产能
图表硅烷主要公司产能
图表锗烷主要公司产能
图表磷烷主要公司产能
图表砷烷主要公司产能
图表乙硼烷主要公司产能
图表六氟丁二烯主要公司产能
图表羰基硫主要公司产能
图表三氟化硼主要公司产能
图表硒化氢主要公司产能
图表2000-2020年全球半导体市场规模及增速
图表2015-2020年中国集成电路市场规模及增速
图表2010-2020年全球半导体兼并和收购案金额
图表半导体材料国产化情况
图表集成电路制造工艺流程
图表常见的气相沉积气体
图表常见的刻蚀气体
图表常见的掺杂气体
图表2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表2009-2020年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例较高
图表半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表2015-2020年全球晶圆产能转移
图表我国主要晶圆厂商在建产能情况
图表2016-2021年中国LED照明行业市场规模渗透率
图表LED生产流程
图表LED生产外延片制造和芯片制程
图表全球面板产业发展简史
图表中国面板产业发展历程
图表1999-2020年全球LCD产能区域结构分布情况
图表TFT-LCD制造流程
图表TFT干刻气体选择
图表显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表太阳能电池的分类
图表太阳能电池制程介绍
图表2020-2021年中国太阳能电池产量
图表空气化工发展历程
图表空气化工电子领域业务概况
图表美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表空气化工创新性技术
图表2018-2019年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表2018-2019年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表2018-2019年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表2019-2020年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表2019-2020年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表2019-2020年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表2020-2021年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表2020-2021年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表2020-2021年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表林德集团发展历程
图表林德集团电子领域产品概况
图表林德集团气体种类及应用领域
图表林德集团四大突破性技术
图表2018-2019年林德集团综合收益表
图表2018-2019年林德集团分部资料
图表2018-2019年林德集团收入分地区资料
图表2019-2020年林德集团综合收益表
图表2019-2020年林德集团分部资料
图表2019-2020年林德集团收入分地区资料
图表2020-2021年林德集团综合收益表
图表2020-2021年林德集团分部资料
图表2020-2021年林德集团收入分地区资料
图表液化空气发展历程
图表液化空气电子领域业务概况
图表法国液空电子材料种类及应用领域
图表液化空气高效的工业网络组织
图表液化空气四大战略支柱
图表2018-2019年法国液空集团综合收益表
图表2018-2019年法国液空集团分部资料
图表2018-2019年法国液空集团收入分地区资料
图表2019-2020年法国液空集团综合收益表
图表2019-2020年法国液空集团分部资料
图表2019-2020年法国液空集团收入分地区资料
图表2020-2021年法国液空集团综合收益表
图表2020-2021年法国液空集团分部资料
图表2020-2021年法国液空集团收入分地区资料
图表日本酸素业务概况
图表日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表日本酸素扩展五大功能
图表日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表日本酸素的全球化销售网络
图表2018-2019年日本酸素公司综合收益表
图表2018-2019年日本酸素公司分部资料
图表2018-2019年日本酸素公司收入分地区资料
图表2019-2020年日本酸素公司综合收益表
图表2019-2020年日本酸素公司分部资料
图表2019-2020年日本酸素公司收入分地区资料
图表2020-2021年日本酸素公司综合收益表
图表2020-2021年日本酸素公司分部资料
图表2020-2021年日本酸素公司收入分地区资料
图表昭和电工业务概况
图表昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表2018-2019年昭和电工株式会社综合收益表
图表2018-2019年昭和电工株式会社分部资料
图表2018-2019年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表2019-2020年昭和电工株式会社综合收益表
图表2019-2020年昭和电工株式会社分部资料
图表2019-2020年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表2020-2021年昭和电工株式会社综合收益表
图表2020-2021年昭和电工株式会社分部资料
图表2020-2021年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表日本太阳日酸发展历史
图表日本太阳日酸气体种类及应用领域
图表关东化工气体种类及应用领域
图表艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表华特气体发展历程
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年广东华特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表2016-2020年华特气体分业务营业收入占比
图表华特气体按产品分收入结构
图表华特气体业务模式及主要客户
图表华特气体产品情况
图表华特气体核心技术及优势
图表2016-2020年华特气体研发支出趋势
图表公司主要特气产能及募投产能情况
图表金宏气体历史沿革
图表金宏气体七大工艺
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年苏州金宏气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表2020年金宏气体营收占比
图表金宏气体部分产品国内市场份额
图表金宏气体特气产能及规划
图表金宏气体主要气体产品
图表金宏气体核心技术对比
图表2016-2020年金宏气体研发趋势
图表雅克科技发展历程
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表雅克科技特种气体客户
图表2020年雅克科技营收构成
图表雅克科技产品构成
图表雅克电子特气解析
图表雅克科技主要产品产能情况
图表南大光电历史沿革
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表2020年南大光电营收占比
图表飞源特气客户情况
图表南大光电特气产能情况
图表南大光电气体产品
图表2016-2020年南大光电研发趋势
图表昊华科技发展历程
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表2020年昊华科技主营业务占比
图表昊华科技特气产能扩张规划
图表昊华科技气体产品线
图表昊华科技气体扩产
图表2018-2020年昊华科技研发趋势
图表凯美特气历史沿革
图表凯美特气力求实现电子特气原料、生产、包装、检测完整产业闭环
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表2021年凯美特气营收占比
图表2020-2021年凯美特气电子特气销售情况
图表凯美特气子公司及产品布局
图表2016-2020年凯美特气研发趋势
图表凯美特气第一期电子特气产品
图表和远气体历史沿革
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表2019-2020年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表2018-2021年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表2020年和远气体营收占比
图表和远气体产品与供应布局
图表和远气体核心技术
图表2016-2020年和远气体研发趋势
图表杭氧股份产品线
图表杭氧股份6大供气模式
图表巨化股份产品线
图表巨化股份电子级气体
图表正帆科技历史沿革
图表正帆科技业务布局
图表正帆科技高纯特气产品
图表正帆科技下游客户
图表2020年正帆科技营收构成
图表派瑞特气现有产能及规划产
图表博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表绿菱公司历史沿革
图表绿菱公司产线及纯度
图表硅烷科技硅烷产品现有及拟在建产能
图表同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表大基金二期细化情况梳理
图表成都科美特拥有的技术储备
图表成都科美特拥有的技术储备（续）
图表雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目建设周期
图表雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目投资明细
图表雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目未来盈利情况
图表雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目营业收入预测
图表雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目成本费用测算
图表雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目经济效益测算
图表南大光电三氟化氮生产装置项目总体投资明细
图表南大光电三氟化氮生产装置项目基建投资明细
图表南大光电三氟化氮生产装置项目设备投资明细
图表南大光电三氟化氮生产装置项目收入预测
图表2017-2020年南大光电三氟化氮平均价格
图表南大光电三氟化氮产品销售收入预测
图表南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测
图表南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测（续）
图表正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表正帆科技气体扩产项目投资明细
图表金宏气体集成电路用高纯气体项目新增设备
图表金宏气体集成电路用高纯气体项目年燃料动力消耗
图表金宏气体集成电路用高纯气体项目建设周期
图表金宏气体集成电路用高纯气体项目投资估算
图表2019年部分地区半导体相关布局
图表国内特种气体公司已实现进口替代的产品
